Track Processing To Remove Organic Films in Directed Self-Assembly Chemo-Epitaxy Applications

WO2014152156 Art A1 25. September 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014152156
Aktenzeichen: EP14721090
Anmeldetag: 14. März 2014
Veröffentlichung: 25. September 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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