A 193nm laser and an inspection system using a 193nm laser
WO2014153328
Art A1
25. September 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014153328
- Aktenzeichen
- EP14771098
- Anmeldetag
- 18. März 2014
- Veröffentlichung
- 25. September 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01S3/10H01S3/109
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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