Inspection system including parallel imaging paths with multiple and selectable spectral bands
WO2014153344
Art A1
25. September 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014153344
- Aktenzeichen
- EP14767389
- Anmeldetag
- 18. März 2014
- Veröffentlichung
- 25. September 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/88H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
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