Electron beam irradiation device

WO2014156170 Art A1 2. Oktober 2014

Anmelder: Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014156170
Aktenzeichen: EP14774637
Anmeldetag: 27. März 2014
Veröffentlichung: 2. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G21K5/04H01J37/06H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

2.166 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

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