Circuit substrate reliably operating when controlling plurality of electron beams

WO2014156171 Art A1 2. Oktober 2014

Anmelder: Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014156171
Aktenzeichen: EP14773272
Anmeldetag: 27. März 2014
Veröffentlichung: 2. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01J37/073H01J37/305H01L21/3205H01L21/768H01L23/522

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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