Etching method

WO2014156681 Art A1 2. Oktober 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Iwatani Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014156681
Aktenzeichen: EP14773844
Anmeldetag: 13. März 2014
Veröffentlichung: 2. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Iwatani Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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