Laser annealing device

WO2014156818 Art A1 2. Oktober 2014

Anmelder: Kyushu University National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014156818
Aktenzeichen: EP14774165
Anmeldetag: 18. März 2014
Veröffentlichung: 2. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20B23K26/00B23K26/03B23K26/0622B23K26/064B23K26/14H01L21/268

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kyushu University National University Corporation
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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