Laser annealing device

WO2014156818 Art A1 2. Oktober 2014

Anmelder: Kyushu University National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014156818
Aktenzeichen: EP14774165
Anmeldetag: 18. März 2014
Veröffentlichung: 2. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20B23K26/00B23K26/03B23K26/0622B23K26/064B23K26/14H01L21/268

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kyushu University National University Corporation
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

1.331 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von