Method for adjusting vapor-phase growth apparatus

WO2014156853 Art A1 2. Oktober 2014

Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014156853
Aktenzeichen: EP14774262
Anmeldetag: 18. März 2014
Veröffentlichung: 2. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Taiyo Nippon Sanso Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von