Uv-Assisted Removal Of Metal Oxides in an Ammonia-Containing Atmosphere

WO2014158344 Art A2 2. Oktober 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014158344
Aktenzeichen: EP14773985
Anmeldetag: 31. Januar 2014
Veröffentlichung: 2. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C23G5/00C23G3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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