Method for manufacturing semiconductor wafer and cutting positioning system for semiconductor ingot
WO2014162657
Art A1
9. Oktober 2014
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014162657
- Aktenzeichen
- EP14780008
- Anmeldetag
- 6. März 2014
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/06C30B33/00H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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