Uneven film thickness inspection device

WO2014162855 Art A1 9. Oktober 2014

Anmelder: Toray Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014162855
Aktenzeichen: EP14779044
Anmeldetag: 17. März 2014
Veröffentlichung: 9. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/892G01M11/00G01B11/06G02B5/20G02F1/13G02F1/1335

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toray Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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