Method for manufacturing organic processing fluid for patterning of chemical amplification type resist film, organic processing fluid for patterning of chemical amplification type resist film, pattern forming method, method for manufacturing electronic device, and electronic device
WO2014162912
Art A1
9. Oktober 2014
Anmelder: FUJI-FILM Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014162912
- Aktenzeichen
- EP14778566
- Anmeldetag
- 24. März 2014
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/32G03F7/038G03F7/039H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJI-FILM Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
21.764 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.