Coating composition for forming micropattern, and method for forming micropattern using same

WO2014163332 Art A1 9. Oktober 2014

Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014163332
Aktenzeichen
EP14778573
Anmeldetag
28. März 2014
Veröffentlichung
9. Oktober 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C09D7/12G03F7/004G03F7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dongjin Semichem Co., Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Dongjin Semichem

Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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