Firing method and firing device

WO2014168172 Art A1 16. Oktober 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014168172
Aktenzeichen: EP14782286
Anmeldetag: 9. April 2014
Veröffentlichung: 16. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/288H01L21/28H01L21/336H01L21/368H01L29/786H01L51/05H01L51/40H05K3/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von