Evaporation deposition apparatus
WO2014168352
Art A1
16. Oktober 2014
Anmelder: Korea Research Institute Of Standards And Science 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014168352
- Aktenzeichen
- EP14782446
- Anmeldetag
- 18. März 2014
- Veröffentlichung
- 16. Oktober 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L51/56H05B33/10C23C14/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Research Institute Of Standards And Science
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Standards and Science
Der Anmelder ist ein südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut für Metrologie mit Sitz in Daejeon, bekannt als KRISS. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiterbauelemente, Software und Medizintechnik. Anmeldungen laufen seit 2002 durchgehend fort.
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