Method for treating inner wall surface of micro-vacancy
WO2014170928
Art A1
23. Oktober 2014
Anmelder: Tohoku University, Stella Chemifa Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014170928
- Aktenzeichen
- EP13882486
- Anmeldetag
- 18. April 2013
- Veröffentlichung
- 23. Oktober 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tohoku University
Stella Chemifa Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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