Monolithic pzt actuator, stage, and method for making

WO2014172617 Art A1 23. Oktober 2014

Anmelder: Cornell University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014172617
Aktenzeichen: EP14784632
Anmeldetag: 18. April 2014
Veröffentlichung: 23. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/277H01L41/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cornell University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cornell University

Die Cornell University ist eine private Universität in Ithaca, New York (USA), die in Forschung und Lehre über zahlreiche natur- und ingenieurwissenschaftliche Fachrichtungen aktiv ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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