Cantilever, manufacturing process, detection device, and detection method

WO2014174997 Art A1 30. Oktober 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014174997
Aktenzeichen: EP14788585
Anmeldetag: 28. März 2014
Veröffentlichung: 30. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q60/24G01N23/04G01Q30/02G01Q60/38G21K7/00G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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