Flourine and hf resistant seals for an ion source

WO2014176516 Art A1 30. Oktober 2014

Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014176516
Aktenzeichen: EP14726491
Anmeldetag: 25. April 2014
Veröffentlichung: 30. Oktober 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/08H01J27/08H01J27/02H01J5/32H01J5/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Axcelis Technologies Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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