Optical element comprising a multilayer coating, and optical arrangement comprising same

WO2014177376 Art A1 6. November 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014177376
Aktenzeichen: EP14718561
Anmeldetag: 15. April 2014
Veröffentlichung: 6. November 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G03F7/20G21K1/06B82Y30/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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