Pattern-forming method, electronic device and method for producing same, and developing fluid

WO2014178285 Art A1 6. November 2014

Anmelder: FUJI-FILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014178285
Aktenzeichen
EP14791518
Anmeldetag
16. April 2014
Veröffentlichung
6. November 2014
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/32G03F7/038G03F7/039H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJI-FILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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