Etching method, etching solution used in same, etching solution kit, and method for manufacturing semiconductor substrate product
WO2014178424
Art A1
6. November 2014
Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014178424
- Aktenzeichen
- EP14792135
- Anmeldetag
- 1. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 6. November 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/306H01L21/28H01L21/308
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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