Etching method, etching solution used in same, etching solution kit, and method for manufacturing semiconductor substrate product

WO2014178424 Art A1 6. November 2014

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014178424
Aktenzeichen
EP14792135
Anmeldetag
1. Mai 2014
Veröffentlichung
6. November 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/306H01L21/28H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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