Ruthenium precursor, preparation method therefor and method for forming thin film using same
WO2014178684
Art A1
6. November 2014
Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014178684
- Aktenzeichen
- EP14791290
- Anmeldetag
- 2. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 6. November 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/06C23C16/448
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Research Institute of Chemical Technology
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Chemical Technology
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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