Self-Cleaning Radio Frequency Plasma Source

WO2014179078 Art A1 6. November 2014

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014179078
Aktenzeichen: EP14791647
Anmeldetag: 16. April 2014
Veröffentlichung: 6. November 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L21/263H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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