Methods and systems for chemically encoding high-resolution shapes in silicon nanowires

WO2014179340 Art A2 6. November 2014

Anmelder: The University of North Carolina at Chapel Hill 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014179340
Aktenzeichen: EP14791099
Anmeldetag: 29. April 2014
Veröffentlichung: 6. November 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The University of North Carolina at Chapel Hill
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of North Carolina at Chapel Hill

US-amerikanische öffentliche Universität in North Carolina, eine der ältesten staatlichen Hochschulen der USA mit umfangreicher Forschung unter anderem in Medizin und Naturwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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