Chemical mechanical planarization slurry composition comprising composite particles, process for removing material using said composition, cmp polishing pad and process for preparing said composition

WO2014179419 Art A1 6. November 2014

Anmelder: Cabot Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014179419
Aktenzeichen: EP14730639
Anmeldetag: 30. April 2014
Veröffentlichung: 6. November 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cabot Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot

Cabot ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien, unter anderem Industrieruß und Silica-Produkten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Kunststoff- und Halbleitertechnik, ergänzt durch anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

479 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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