Gas supply device

WO2014182088 Art A1 13. November 2014

Anmelder: Jusung Engineering Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014182088
Aktenzeichen
EP14795383
Anmeldetag
8. Mai 2014
Veröffentlichung
13. November 2014
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/13H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Jusung Engineering Co., Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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