SIO2-Basierte Sperrschicht für Hochtemperatur-Diffusions- und Beschichtungsprozesse

WO2014183943 Art A1 20. November 2014

Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014183943
Aktenzeichen: EP14717767
Anmeldetag: 15. April 2014
Veröffentlichung: 20. November 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Heraeus Quarzglas

Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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