Pattern formation method, active ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition used in same, electronic device using same, and production method for electronic device
WO2014185347
Art A1
20. November 2014
Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014185347
- Aktenzeichen
- EP14797493
- Anmeldetag
- 9. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 20. November 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/038G03F7/004G03F7/039G03F7/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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