Optical component comprising an optical device and means for reducing radiation-induced influences on said optical device

WO2014187599 Art A1 27. November 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014187599
Aktenzeichen: EP14714992
Anmeldetag: 1. April 2014
Veröffentlichung: 27. November 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G02B17/08G09G3/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Optik & Fototechnik

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