Electrolytic treatment method and electrolytic treatment device

WO2014188898 Art A1 27. November 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited, National University Corporation Kumamoto University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014188898
Aktenzeichen: EP14800350
Anmeldetag: 12. Mai 2014
Veröffentlichung: 27. November 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C25D17/10C02F1/46C02F1/461

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
National University Corporation Kumamoto University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von