Mask blank, transfer mask and method for producing transfer mask

WO2014189004 Art A1 27. November 2014

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014189004
Aktenzeichen: EP14801523
Anmeldetag: 19. Mai 2014
Veröffentlichung: 27. November 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/32G03F1/00G03F7/24H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

1.653 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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