Method for forming stacked structure

WO2014190910 Art A1 4. Dezember 2014

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014190910
Aktenzeichen
EP14803983
Anmeldetag
28. Mai 2014
Veröffentlichung
4. Dezember 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/283
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tsinghua University
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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