Vacuum Pump

WO2014196248 Art A1 11. Dezember 2014

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014196248
Aktenzeichen
EP14807290
Anmeldetag
28. März 2014
Veröffentlichung
11. Dezember 2014
Rechtsraum
WO
IPC
F04B37/16F04B49/06F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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