Ion source and ion milling apparatus

WO2014196262 Art A1 11. Dezember 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014196262
Aktenzeichen: EP14806958
Anmeldetag: 7. April 2014
Veröffentlichung: 11. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J27/04H01J37/08H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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