Organic semiconductor film, method for manufacturing same, and transistor structure

WO2014196487 Art A1 11. Dezember 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014196487
Aktenzeichen
EP14807929
Anmeldetag
27. Mai 2014
Veröffentlichung
11. Dezember 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L51/30C07C2/68C07C15/14C07C15/20C08G61/10H01L29/786H01L51/05H01L51/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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