Dynamic removal of correlation of highly correlated parameters for optical metrology

WO2014197447 Art A1 11. Dezember 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Kla-Tencor Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014197447
Aktenzeichen: EP14807249
Anmeldetag: 3. Juni 2014
Veröffentlichung: 11. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/00G01N21/25G01N21/47G01B11/00G06F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Kla-Tencor Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von