Automatic determination of fourier harmonic order for computation of spectral information for diffraction structures

WO2014197450 Art A1 11. Dezember 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Kla-Tencor Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014197450
Aktenzeichen: EP14807388
Anmeldetag: 3. Juni 2014
Veröffentlichung: 11. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01B11/30G01B11/16G01N21/25G06F17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Kla-Tencor Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von