Sensor with protective layer
WO2014197590
Art A2
11. Dezember 2014
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014197590
- Aktenzeichen
- EP14734352
- Anmeldetag
- 4. Juni 2014
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01L19/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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