Device for moving a substrate holder during a vertical galvanic metal deposition, and a method for vertical galvanic metal deposition using such a device

WO2014198723 Art A1 18. Dezember 2014

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014198723
Aktenzeichen
EP14728994
Anmeldetag
10. Juni 2014
Veröffentlichung
18. Dezember 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C25D5/04C25D17/06C25D21/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS IP Association
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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