Plasma generation apparatus, plasma processing apparatus, plasma generation method, and plasma processing method
WO2014199421
Art A1
18. Dezember 2014
Anmelder: Tohoku University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014199421
- Aktenzeichen
- EP13886811
- Anmeldetag
- 14. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/46C23C16/511
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tohoku University
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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Vertreten von
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