Substrate processing apparatus, device manufacturing method, and exposure method

WO2014199744 Art A1 18. Dezember 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014199744
Aktenzeichen: EP14810227
Anmeldetag: 2. Mai 2014
Veröffentlichung: 18. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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