Wafer-Based Light Source Parameter Control

WO2014200821 Art A1 18. Dezember 2014

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014200821
Aktenzeichen: EP14811633
Anmeldetag: 5. Juni 2014
Veröffentlichung: 18. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03B27/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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