Silicon carbide semiconductor film-forming apparatus and film-forming method using same
Anmelder: Denso Corporation, Central Research Institute of Electric Power Industry, NuFlare Technology, Inc., TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014203535
- Aktenzeichen
- EP14814034
- Anmeldetag
- 19. Juni 2014
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205C23C16/42C23C16/455C30B29/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Denso Corporation
Central Research Institute of Electric Power Industry
NuFlare Technology, Inc.
TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Automobilzulieferer mit Sitz in Kariya (Präfektur Aichi). Denso entwickelt Antriebs, Klima, Sicherheits und Elektroniksysteme für Fahrzeuge sowie Komponenten für Elektromobilität, Fahrerassistenz und Halbleitertechnik.
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Japanischer Automobilhersteller mit Sitz in Toyota City, gegründet 1937. Entwickelt und produziert Pkw, Nutzfahrzeuge, Hybrid- und Wasserstoffantriebe sowie zugehörige Fahrzeugtechnologien.
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