Substrate holding and rotating device, substrate processing device equipped with same, and substrate processing method

WO2014203587 Art A1 24. Dezember 2014

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014203587
Aktenzeichen: EP14814219
Anmeldetag: 31. März 2014
Veröffentlichung: 24. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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