Oxide semiconductor film and formation method thereof

WO2014203984 Art A1 24. Dezember 2014

Anmelder: Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014203984
Aktenzeichen
EP14813745
Anmeldetag
13. Juni 2014
Veröffentlichung
24. Dezember 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/08C23C14/34G02F1/1368H01L21/336H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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