Replacement Metal Gate Transistor

WO2014204812 Art A1 24. Dezember 2014

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014204812
Aktenzeichen
EP14813044
Anmeldetag
13. Juni 2014
Veröffentlichung
24. Dezember 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/78H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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