Gas Bearing Assembly For an Euv Light Source

WO2014205429 Art A1 24. Dezember 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014205429
Aktenzeichen: EP14813241
Anmeldetag: 22. Juni 2014
Veröffentlichung: 24. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: F16C32/06G01J3/10H01J35/00H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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