Evaporation apparatus with gas supply

WO2014207088 Art A1 31. Dezember 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014207088
Aktenzeichen: EP14733175
Anmeldetag: 26. Juni 2014
Veröffentlichung: 31. Dezember 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00C23C14/24C23C14/56C23C14/08H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von