Single crystal production device and single crystal production method

WO2014208000 Art A1 31. Dezember 2014

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014208000
Aktenzeichen
EP14818705
Anmeldetag
28. Mai 2014
Veröffentlichung
31. Dezember 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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